ISO14644-1国际标准—空气洁净度等级划分
GB50073-2013 国家标准—空气洁净度等级
中国GMP(2010年修订)新版GMP附录1 无菌药品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下:
无尘车间(洁净室)等级说明
使用者在开无尘室的等级给供货商时,有以下几个小技巧。
首先是等级定义的模式如下:
Class X (at Y μm )
其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:
Class X (at Y μm ),At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。
第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。
半导体行业洁净室案例图集
1、 黄光车间多建在百级洁净区,千级洁净区也有涉及(光刻、镀膜等区域)
2、半导体洁净室(高架地板)常应用于百级和千级区域
3、 常规半导体封装、测试无尘室(洁净区:万级至十万级)
安徽维高环境科技有限公司自成立以来,一直致力于GMP、生物制药、医疗、新能源锂电池,电子科技、食品药品、实验室等领域净化工程;可承担百级、千级、万级、十万级等各种净化级别的净化工程,电子科技、食品药品、实验室等领域净化工程。整合了空气除尘、恒温恒湿、新风系统、污水废气、消防报验,维护结构、电气照明、压力管道等专业,提供一站式无尘净化装修解决方案,打造洁净室建设系统服务商。
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